金刚石与磨料磨具工程
金剛石與磨料磨具工程
금강석여마료마구공정
DIAMOND & ABRASIVES ENGINNERING
2009年
5期
1-6,12
,共7页
陈卓%魏昕%任庆磊%谢小柱
陳卓%魏昕%任慶磊%謝小柱
진탁%위흔%임경뢰%사소주
硅片自旋转磨削%磨削轨迹%磨粒合成运动速度
硅片自鏇轉磨削%磨削軌跡%磨粒閤成運動速度
규편자선전마삭%마삭궤적%마립합성운동속도
本文利用数学矩阵方法,建立大尺寸硅片自旋转磨削运动的理论模型,研究了砂轮半径、硅片和砂轮旋转速度、旋转方向等因素的选择及各因素对磨削轨迹的影响,同时还研究了磨粒合成运动速度的变化规律.研究结果表明,随着砂轮半径的增大,磨削轨迹的曲率减小,选用较小直径砂轮将更有利硅片表面质量的提高.当转速比i大于零,随着i值的增大,磨削轨迹的曲率逐渐减小.在转速比i小于零的情形,当转速比i=-2时,磨削轨迹曲率为0,磨削轨迹的形状接近一条直线.磨粒合成运动速度随砂轮转速和硅片转速的增大而增大.
本文利用數學矩陣方法,建立大呎吋硅片自鏇轉磨削運動的理論模型,研究瞭砂輪半徑、硅片和砂輪鏇轉速度、鏇轉方嚮等因素的選擇及各因素對磨削軌跡的影響,同時還研究瞭磨粒閤成運動速度的變化規律.研究結果錶明,隨著砂輪半徑的增大,磨削軌跡的麯率減小,選用較小直徑砂輪將更有利硅片錶麵質量的提高.噹轉速比i大于零,隨著i值的增大,磨削軌跡的麯率逐漸減小.在轉速比i小于零的情形,噹轉速比i=-2時,磨削軌跡麯率為0,磨削軌跡的形狀接近一條直線.磨粒閤成運動速度隨砂輪轉速和硅片轉速的增大而增大.
본문이용수학구진방법,건립대척촌규편자선전마삭운동적이론모형,연구료사륜반경、규편화사륜선전속도、선전방향등인소적선택급각인소대마삭궤적적영향,동시환연구료마립합성운동속도적변화규률.연구결과표명,수착사륜반경적증대,마삭궤적적곡솔감소,선용교소직경사륜장경유리규편표면질량적제고.당전속비i대우령,수착i치적증대,마삭궤적적곡솔축점감소.재전속비i소우령적정형,당전속비i=-2시,마삭궤적곡솔위0,마삭궤적적형상접근일조직선.마립합성운동속도수사륜전속화규편전속적증대이증대.
