计量技术
計量技術
계량기술
MEASUREMENT TECHNIQUE
2009年
4期
14-17
,共4页
线边缘粗糙度%评定%Motif参数
線邊緣粗糙度%評定%Motif參數
선변연조조도%평정%Motif삼수
针对现有线边缘粗糙度(line edge roughness,LER)表征参数的不足,提出采用基于Motif参数的LER表征方法.对Motif参数的基本概念和评定流程进行了介绍,并以多层薄膜沉积技术制备的纳米线宽样板的LER评定为例进行了实验.结果表明:Motif参数无需评定基准,可以在轮廓全域内表征LER的幅度和间距特性,评定结果具有一定的鲁棒性.
針對現有線邊緣粗糙度(line edge roughness,LER)錶徵參數的不足,提齣採用基于Motif參數的LER錶徵方法.對Motif參數的基本概唸和評定流程進行瞭介紹,併以多層薄膜沉積技術製備的納米線寬樣闆的LER評定為例進行瞭實驗.結果錶明:Motif參數無需評定基準,可以在輪廓全域內錶徵LER的幅度和間距特性,評定結果具有一定的魯棒性.
침대현유선변연조조도(line edge roughness,LER)표정삼수적불족,제출채용기우Motif삼수적LER표정방법.대Motif삼수적기본개념화평정류정진행료개소,병이다층박막침적기술제비적납미선관양판적LER평정위례진행료실험.결과표명:Motif삼수무수평정기준,가이재륜곽전역내표정LER적폭도화간거특성,평정결과구유일정적로봉성.
