CAJ | 학술논문

真空灭弧室真空度的传统测试方法主要有磁控放电法及工频耐压法.磁控放电法需要使用磁场线圈,而工频耐压法只能测出严重漏气的灭弧室.本文提出了一种新的真空度测量方法--发射电流起始场强法,该方法不需要施加磁场,它是将闭合的灭弧室触头强行拉开0.45mm,在触头间隙上施加工频高电压,接着使用电子轰击或间隙击穿的方法去除触头上固有的气体吸附层,再通过离子捕集的方法重建动态平衡的气体吸附层,然后测量发射电流起始场强Eip.通过理论分析知,发射电流起始场强Eip与真空灭弧室内的真空压强P成正比,故通过测量发射电流起始场强Eip的大小,就可以获得真空灭弧室内的真空度.本文在实验室对发射电流起始场强与真空度的关系进行了实验研究,结果表明,该新方法可将真空度测量范围拓宽到100～10-3Pa.
진공멸호실진공도적전통측시방법주요유자공방전법급공빈내압법.자공방전법수요사용자장선권,이공빈내압법지능측출엄중루기적멸호실.본문제출료일충신적진공도측량방법--발사전류기시장강법,해방법불수요시가자장,타시장폐합적멸호실촉두강행랍개0.45mm,재촉두간극상시가공빈고전압,접착사용전자굉격혹간극격천적방법거제촉두상고유적기체흡부층,재통과리자포집적방법중건동태평형적기체흡부층,연후측량발사전류기시장강Eip.통과이론분석지,발사전류기시장강Eip여진공멸호실내적진공압강P성정비,고통과측량발사전류기시장강Eip적대소,취가이획득진공멸호실내적진공도.본문재실험실대발사전류기시장강여진공도적관계진행료실험연구,결과표명,해신방법가장진공도측량범위탁관도100～10-3Pa.