电子测量与仪器学报
電子測量與儀器學報
전자측량여의기학보
JOURNAL OF ELECTRONIC MEASUREMENT AND INSTRUMENT
2009年
z1期
163-166
,共4页
位置敏感探测器%振动%非接触%检测
位置敏感探測器%振動%非接觸%檢測
위치민감탐측기%진동%비접촉%검측
位置敏感探测器(Position Sensitive Detector,PSD)是一种基于半导体表面阻抗特性原理的连续性光电半导体位移检测器件,具有位置分辨率高和响应速度快等优点.采用PsD进行非接触振动测量,既不会影响被测对象的振动特性.又能有效避免传统加速度传感器超低频振动测量时的漂移问题,克服了需要速度、位移作为反馈或前馈控制量时所带来的积分相位漂移和频响带宽下降等缺点.本文设计了基于PSD的振动检测及控制系统,详细分析了影响测试性能的主要因素并提出了解决方法.基于设计的测量系统,进行了振动检测及控制实验,实验结果验证了该测量方法的有效性.
位置敏感探測器(Position Sensitive Detector,PSD)是一種基于半導體錶麵阻抗特性原理的連續性光電半導體位移檢測器件,具有位置分辨率高和響應速度快等優點.採用PsD進行非接觸振動測量,既不會影響被測對象的振動特性.又能有效避免傳統加速度傳感器超低頻振動測量時的漂移問題,剋服瞭需要速度、位移作為反饋或前饋控製量時所帶來的積分相位漂移和頻響帶寬下降等缺點.本文設計瞭基于PSD的振動檢測及控製繫統,詳細分析瞭影響測試性能的主要因素併提齣瞭解決方法.基于設計的測量繫統,進行瞭振動檢測及控製實驗,實驗結果驗證瞭該測量方法的有效性.
위치민감탐측기(Position Sensitive Detector,PSD)시일충기우반도체표면조항특성원리적련속성광전반도체위이검측기건,구유위치분변솔고화향응속도쾌등우점.채용PsD진행비접촉진동측량,기불회영향피측대상적진동특성.우능유효피면전통가속도전감기초저빈진동측량시적표이문제,극복료수요속도、위이작위반궤혹전궤공제량시소대래적적분상위표이화빈향대관하강등결점.본문설계료기우PSD적진동검측급공제계통,상세분석료영향측시성능적주요인소병제출료해결방법.기우설계적측량계통,진행료진동검측급공제실험,실험결과험증료해측량방법적유효성.
