点衍射干涉仪中小孔衍射波面误差分析
점연사간섭의중소공연사파면오차분석
Analysis of Diffraction Wavefront Error in Point Diffraction Interferometer
  • 万方数据
    光学学报 광학학보
    ACTA OPTICA SINICA
    2008年 12期 2321-2324 ,共4页

    马强%刘伟奇%李香波%康玉思%魏忠伦%冯睿%柳华

    마강%류위기%리향파%강옥사%위충륜%풍예%류화

    光学检测%点衍射干涉仪%标量衍射%衍射波面误差 光學檢測%點衍射榦涉儀%標量衍射%衍射波麵誤差
    광학검측%점연사간섭의%표량연사%연사파면오차
    针孔或光纤直径的大小是影响点衍射干涉仪检测精度的重要因素,在实际检测中须根据检测任务的精度要求来选择小孔的尺寸.基于标量衍射理论,仿真计算了小孔尺寸引起的衍射波面相对标准球面偏离的误差.结果表明,当小孔直径为2.5μm,数值孔径(NA)为0.3时,与小孔有关的光学系统误差峰值(PV)约为0.07 nm.仿真方法和计算结果为针对各种高精度面形检测任务而设计点衍射干涉仪和分析其精度提供了理论和数据参考.
    침공혹광섬직경적대소시영향점연사간섭의검측정도적중요인소,재실제검측중수근거검측임무적정도요구래선택소공적척촌.기우표량연사이론,방진계산료소공척촌인기적연사파면상대표준구면편리적오차.결과표명,당소공직경위2.5μm,수치공경(NA)위0.3시,여소공유관적광학계통오차봉치(PV)약위0.07 nm.방진방법화계산결과위침대각충고정도면형검측임무이설계점연사간섭의화분석기정도제공료이론화수거삼고.
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