光学仪器
光學儀器
광학의기
OPTICAL INSTRUMENTS
2008年
5期
24-30
,共7页
王晓松%冀翔%张恒伟%杨国光%范秋虎%时海
王曉鬆%冀翔%張恆偉%楊國光%範鞦虎%時海
왕효송%기상%장항위%양국광%범추호%시해
反应离子束刻蚀(RIE)%温度效应%二次效应%草地现象
反應離子束刻蝕(RIE)%溫度效應%二次效應%草地現象
반응리자속각식(RIE)%온도효응%이차효응%초지현상
针对波导沟道制作的蚀刻工艺,讨论利用反应离子束蚀刻技术制备波导沟道的工艺条件对面形的影响,对严重影响面型的草地现象形成原因和工艺改善进行实验实践,包括光刻胶、温度效应、二次效应等因素,并提出进行光学稳定、调节离子入射角和改变刻蚀气体压强等减小草地现象的措施,对蚀刻低损耗波导进行有益的探索.
針對波導溝道製作的蝕刻工藝,討論利用反應離子束蝕刻技術製備波導溝道的工藝條件對麵形的影響,對嚴重影響麵型的草地現象形成原因和工藝改善進行實驗實踐,包括光刻膠、溫度效應、二次效應等因素,併提齣進行光學穩定、調節離子入射角和改變刻蝕氣體壓彊等減小草地現象的措施,對蝕刻低損耗波導進行有益的探索.
침대파도구도제작적식각공예,토론이용반응리자속식각기술제비파도구도적공예조건대면형적영향,대엄중영향면형적초지현상형성원인화공예개선진행실험실천,포괄광각효、온도효응、이차효응등인소,병제출진행광학은정、조절리자입사각화개변각식기체압강등감소초지현상적조시,대식각저손모파도진행유익적탐색.
