电子器件
電子器件
전자기건
JOURNAL OF ELECTRON DEVICES
2008年
5期
1533-1536
,共4页
刘亮%赵小林%戴旭涵%鲁李乐%丁桂甫
劉亮%趙小林%戴旭涵%魯李樂%丁桂甫
류량%조소림%대욱함%로리악%정계보
微机电系统(MEMS)%电磁驱动%微继电器%微电铸
微機電繫統(MEMS)%電磁驅動%微繼電器%微電鑄
미궤전계통(MEMS)%전자구동%미계전기%미전주
介绍了一种MEMS电磁驱动微继电器,这种继电器体积小、易于集成.它采用双层1 mm×1 mm平面线圈和吸合式坡莫合金悬臂梁结构,层间用聚酰亚胺作绝缘材料.文中介绍了器件的工作原理,建立了磁路的仿真模型,据此计算确定了气隙宽度和悬臂梁厚度.采用表面微加工和微电铸工艺制作了器件.
介紹瞭一種MEMS電磁驅動微繼電器,這種繼電器體積小、易于集成.它採用雙層1 mm×1 mm平麵線圈和吸閤式坡莫閤金懸臂樑結構,層間用聚酰亞胺作絕緣材料.文中介紹瞭器件的工作原理,建立瞭磁路的倣真模型,據此計算確定瞭氣隙寬度和懸臂樑厚度.採用錶麵微加工和微電鑄工藝製作瞭器件.
개소료일충MEMS전자구동미계전기,저충계전기체적소、역우집성.타채용쌍층1 mm×1 mm평면선권화흡합식파막합금현비량결구,층간용취선아알작절연재료.문중개소료기건적공작원리,건립료자로적방진모형,거차계산학정료기극관도화현비량후도.채용표면미가공화미전주공예제작료기건.
