稀有金属
稀有金屬
희유금속
CHINESE JOURNAL OF RARE METALS
2007年
z1期
25-28
,共4页
于威%许贺菊%张丽%滕晓云%张锦川%傅广生
于威%許賀菊%張麗%滕曉雲%張錦川%傅廣生
우위%허하국%장려%등효운%장금천%부엄생
ZnO薄膜%螺旋波等离子体%氧分压
ZnO薄膜%螺鏇波等離子體%氧分壓
ZnO박막%라선파등리자체%양분압
采用螺旋波等离子体辅助射频溅射技术在Al203衬底的(0001)面上制备了ZnO薄膜.通过对其结构,光学及电学性质的分析,探讨了氧分压对薄膜生长及其特性的影响.结果表明,由于等离子体对反应气体的活化及载能粒子对表面反应的辅助作用,采用该等离子体辅助溅射技术能够在合适的氧分压下制得较高质量的ZnO薄膜.
採用螺鏇波等離子體輔助射頻濺射技術在Al203襯底的(0001)麵上製備瞭ZnO薄膜.通過對其結構,光學及電學性質的分析,探討瞭氧分壓對薄膜生長及其特性的影響.結果錶明,由于等離子體對反應氣體的活化及載能粒子對錶麵反應的輔助作用,採用該等離子體輔助濺射技術能夠在閤適的氧分壓下製得較高質量的ZnO薄膜.
채용라선파등리자체보조사빈천사기술재Al203츤저적(0001)면상제비료ZnO박막.통과대기결구,광학급전학성질적분석,탐토료양분압대박막생장급기특성적영향.결과표명,유우등리자체대반응기체적활화급재능입자대표면반응적보조작용,채용해등리자체보조천사기술능구재합괄적양분압하제득교고질량적ZnO박막.
