CAJ | 학술논문

分析了硅片双面磨削的运动轨迹, 并给出了砂轮上P点相对于硅片的运动轨迹. 还对砂轮运动轨迹进行了模拟. 得出以下结论: 砂轮上P点在硅片上的运动轨迹仅与它们的相对转速比I有关, 而与两者的分别转动角速度值没有关系. 硅片磨削的磨纹密度沿着硅片径向逐渐减小, 硅片中心处磨纹最密集, 磨纹密度最大, 表面粗糙度最小, 越靠近硅片的中心硅片的磨纹密度越大, 表面粗糙度越小, 表面质量越好; 反之, 越靠近硅片的边缘磨纹密度越小, 表面粗糙度越大, 表面质量越差. 砂轮和硅片旋转方向相同时单颗磨粒的轨迹带有紫荆花形状, 说明其磨削是不均匀的, 磨削效果不好; 而砂轮和硅片旋转方向相反时单颗磨粒的轨迹则不具有这种形状, 磨削很均匀, 磨削效果好. 硅片磨纹密度是由砂轮和硅片的速比决定的, 速比(ωw)/(ωs)的不可约分数m/n中n越大, 硅片磨纹密度越密, 表面粗糙度越小, 磨削表面质量越好.
분석료규편쌍면마삭적운동궤적, 병급출료사륜상P점상대우규편적운동궤적. 환대사륜운동궤적진행료모의. 득출이하결론: 사륜상P점재규편상적운동궤적부여타문적상대전속비I유관, 이여량자적분별전동각속도치몰유관계. 규편마삭적마문밀도연착규편경향축점감소, 규편중심처마문최밀집, 마문밀도최대, 표면조조도최소, 월고근규편적중심규편적마문밀도월대, 표면조조도월소, 표면질량월호; 반지, 월고근규편적변연마문밀도월소, 표면조조도월대, 표면질량월차. 사륜화규편선전방향상동시단과마립적궤적대유자형화형상, 설명기마삭시불균균적, 마삭효과불호; 이사륜화규편선전방향상반시단과마립적궤적칙불구유저충형상, 마삭흔균균, 마삭효과호. 규편마문밀도시유사륜화규편적속비결정적, 속비(ωw)/(ωs)적불가약분수m/n중n월대, 규편마문밀도월밀, 표면조조도월소, 마삭표면질량월호.