材料导报
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재료도보
MATERIALS REVIEW
2008年
2期
115-118
,共4页
纳米压痕法%电沉积镍镀层%残余应力%X射线衍射法
納米壓痕法%電沉積鎳鍍層%殘餘應力%X射線衍射法
납미압흔법%전침적얼도층%잔여응력%X사선연사법
应用纳米压痕法测量残余应力的2种理论模型对5种电沉积镍镀层中的残余应力在不同压痕深度处进行了测量,并与X射线衍射法的测量结果进行了比较.结果表明,压深位于薄膜/基底界面处的2种压痕法测量结果与X射线衍射法的测量结果相近,且Yun-Hee模型与其符合得更好.
應用納米壓痕法測量殘餘應力的2種理論模型對5種電沉積鎳鍍層中的殘餘應力在不同壓痕深度處進行瞭測量,併與X射線衍射法的測量結果進行瞭比較.結果錶明,壓深位于薄膜/基底界麵處的2種壓痕法測量結果與X射線衍射法的測量結果相近,且Yun-Hee模型與其符閤得更好.
응용납미압흔법측량잔여응력적2충이론모형대5충전침적얼도층중적잔여응력재불동압흔심도처진행료측량,병여X사선연사법적측량결과진행료비교.결과표명,압심위우박막/기저계면처적2충압흔법측량결과여X사선연사법적측량결과상근,차Yun-Hee모형여기부합득경호.