物理学报
物理學報
물이학보
2007年
11期
6722-6726
,共5页
罗宇峰%钟澄%张莉%严学俭%李劲%蒋益明
囉宇峰%鐘澄%張莉%嚴學儉%李勁%蔣益明
라우봉%종징%장리%엄학검%리경%장익명
Cu薄膜%氧化反应%动力学%表征
Cu薄膜%氧化反應%動力學%錶徵
Cu박막%양화반응%동역학%표정
提出并建立了一种基于方块电阻测量的原位表征Cu薄膜氧化反应动力学规律的方法.利用Cu薄膜方块电阻随氧化时间的变化情况,得到氧化产物厚度与氧化时间的关系,反应动力学表征结果符合抛物线规律.还利用不同的氧化反应温度条件和对应的抛物线常数之间的关系得到体系的扩散激活能.结果表明,提出的表征方法适用于Cu薄膜氧化反应体系.
提齣併建立瞭一種基于方塊電阻測量的原位錶徵Cu薄膜氧化反應動力學規律的方法.利用Cu薄膜方塊電阻隨氧化時間的變化情況,得到氧化產物厚度與氧化時間的關繫,反應動力學錶徵結果符閤拋物線規律.還利用不同的氧化反應溫度條件和對應的拋物線常數之間的關繫得到體繫的擴散激活能.結果錶明,提齣的錶徵方法適用于Cu薄膜氧化反應體繫.
제출병건립료일충기우방괴전조측량적원위표정Cu박막양화반응동역학규률적방법.이용Cu박막방괴전조수양화시간적변화정황,득도양화산물후도여양화시간적관계,반응동역학표정결과부합포물선규률.환이용불동적양화반응온도조건화대응적포물선상수지간적관계득도체계적확산격활능.결과표명,제출적표정방법괄용우Cu박막양화반응체계.
