光子学报
光子學報
광자학보
ACTA PHOTONICA SINICA
2007年
11期
2115-2119
,共5页
石友彬%李慎德%王文华%陈春雷
石友彬%李慎德%王文華%陳春雷
석우빈%리신덕%왕문화%진춘뢰
干涉测量%测温法%对比度%粗糙度%对比度禁区
榦涉測量%測溫法%對比度%粗糙度%對比度禁區
간섭측량%측온법%대비도%조조도%대비도금구
以激光干涉为理论基础,采用具有不同表面光学特性的单晶硅片和K-8光学玻璃为样品,针对不同的测量条件,研究干涉条纹对比度变化对温度测量的影响.分析了薄片干涉条纹对比度与测量光束直径、入射角、样品表面粗糙度以及表面镀膜之间的相互关系,研究了薄片的横向温度梯度对干涉对比度的影响.实验结果表明,上述各因素对温度测量参量对比度产生的影响具有规律性,并在一定对比度阈值条件下,能够满足精确测温的条件要求.
以激光榦涉為理論基礎,採用具有不同錶麵光學特性的單晶硅片和K-8光學玻璃為樣品,針對不同的測量條件,研究榦涉條紋對比度變化對溫度測量的影響.分析瞭薄片榦涉條紋對比度與測量光束直徑、入射角、樣品錶麵粗糙度以及錶麵鍍膜之間的相互關繫,研究瞭薄片的橫嚮溫度梯度對榦涉對比度的影響.實驗結果錶明,上述各因素對溫度測量參量對比度產生的影響具有規律性,併在一定對比度閾值條件下,能夠滿足精確測溫的條件要求.
이격광간섭위이론기출,채용구유불동표면광학특성적단정규편화K-8광학파리위양품,침대불동적측량조건,연구간섭조문대비도변화대온도측량적영향.분석료박편간섭조문대비도여측량광속직경、입사각、양품표면조조도이급표면도막지간적상호관계,연구료박편적횡향온도제도대간섭대비도적영향.실험결과표명,상술각인소대온도측량삼량대비도산생적영향구유규률성,병재일정대비도역치조건하,능구만족정학측온적조건요구.
