半导体学报
半導體學報
반도체학보
CHINESE JOURNAL OF SEMICONDUCTORS
2007年
z1期
452-456
,共5页
郭春生%李秀宇%李志国%吴月花
郭春生%李秀宇%李誌國%吳月花
곽춘생%리수우%리지국%오월화
互连线%蓄水池效应%电迁移
互連線%蓄水池效應%電遷移
호련선%축수지효응%전천이
在W通孔的多层金属化系统中,金属离子的蓄水池效应对其电迁移寿命的影响很大,文中设计制作了12种不同的蓄水池结构,并进行了电迁移实验.着重考察蓄水池面积、通孔位置、通孔数目对互连线电迁移寿命的影响,得出蓄水池的面积是影响电迁移寿命的主要因素.
在W通孔的多層金屬化繫統中,金屬離子的蓄水池效應對其電遷移壽命的影響很大,文中設計製作瞭12種不同的蓄水池結構,併進行瞭電遷移實驗.著重攷察蓄水池麵積、通孔位置、通孔數目對互連線電遷移壽命的影響,得齣蓄水池的麵積是影響電遷移壽命的主要因素.
재W통공적다층금속화계통중,금속리자적축수지효응대기전천이수명적영향흔대,문중설계제작료12충불동적축수지결구,병진행료전천이실험.착중고찰축수지면적、통공위치、통공수목대호련선전천이수명적영향,득출축수지적면적시영향전천이수명적주요인소.
