安徽理工大学学报（自然科学版）
安徽理工大學學報（自然科學版）
안휘리공대학학보（자연과학판）
JOURNAL OF ANHUI UNIVERSITY OF SCIENCE AND TECHNOLOGY(NATURAL SCIENCE)
2006年
4期
92-96
,共5页
严少平%孙雅琴%段冰%顾广颐%蒋百灵
嚴少平%孫雅琴%段冰%顧廣頤%蔣百靈
엄소평%손아금%단빙%고엄이%장백령
非平衡磁控溅射%CrTiAlN复合镀层%显微硬度%摩擦磨损性能
非平衡磁控濺射%CrTiAlN複閤鍍層%顯微硬度%摩抆磨損性能
비평형자공천사%CrTiAlN복합도층%현미경도%마찰마손성능
为探讨CrTiAlN镀层高硬度、低磨损机理,应用UDP850/4镀层设备,在高速钢和单晶硅基体上制备了CrTiAlN复合镀层,并测试了其力学性能和摩擦学性能,采用XRD、SEM、TEM等手段对镀层微观组织结构进行了分析.结果表明:在75 V负偏压下沉积的镀层具有显微硬度高、摩擦系数小,磨损率低,膜/基结合和韧性良好;镀层由CrN、TiN、AlN、Cr2N和Ti2N等纳米晶组成;纳米晶粒弥散于非晶的结构是硬度增强的机理;良好的膜基结合、韧性好和低摩擦系数是镀层具有低磨损的原因.
為探討CrTiAlN鍍層高硬度、低磨損機理,應用UDP850/4鍍層設備,在高速鋼和單晶硅基體上製備瞭CrTiAlN複閤鍍層,併測試瞭其力學性能和摩抆學性能,採用XRD、SEM、TEM等手段對鍍層微觀組織結構進行瞭分析.結果錶明:在75 V負偏壓下沉積的鍍層具有顯微硬度高、摩抆繫數小,磨損率低,膜/基結閤和韌性良好;鍍層由CrN、TiN、AlN、Cr2N和Ti2N等納米晶組成;納米晶粒瀰散于非晶的結構是硬度增彊的機理;良好的膜基結閤、韌性好和低摩抆繫數是鍍層具有低磨損的原因.
위탐토CrTiAlN도층고경도、저마손궤리,응용UDP850/4도층설비,재고속강화단정규기체상제비료CrTiAlN복합도층,병측시료기역학성능화마찰학성능,채용XRD、SEM、TEM등수단대도층미관조직결구진행료분석.결과표명:재75 V부편압하침적적도층구유현미경도고、마찰계수소,마손솔저,막/기결합화인성량호;도층유CrN、TiN、AlN、Cr2N화Ti2N등납미정조성;납미정립미산우비정적결구시경도증강적궤리;량호적막기결합、인성호화저마찰계수시도층구유저마손적원인.
