纳米技术与精密工程
納米技術與精密工程
납미기술여정밀공정
NANOTECHNOLOGY AND PRECISION ENGINEERING
2006年
2期
132-135
,共4页
压电悬臂梁%微流体%混合器
壓電懸臂樑%微流體%混閤器
압전현비량%미류체%혼합기
鉴于MEMS技术的工艺复杂性及昂贵的制作成本,对基于MEMS技术的压电驱动微流体混合器的结构进行了改进.利用常规的激光加工方法制作了不同尺寸的混合器,并通过实验对其性能进行了研究.结果显示,新型混合器在雷诺数为6.9、悬臂梁振动频率为200 Hz、驱动电压为60V时达到充分混合所需的通道长度仅为1.1mm.这比现有的混合器在性能上有很大的提高,基本可以满足目前大多数微流体系统应用的需要.
鑒于MEMS技術的工藝複雜性及昂貴的製作成本,對基于MEMS技術的壓電驅動微流體混閤器的結構進行瞭改進.利用常規的激光加工方法製作瞭不同呎吋的混閤器,併通過實驗對其性能進行瞭研究.結果顯示,新型混閤器在雷諾數為6.9、懸臂樑振動頻率為200 Hz、驅動電壓為60V時達到充分混閤所需的通道長度僅為1.1mm.這比現有的混閤器在性能上有很大的提高,基本可以滿足目前大多數微流體繫統應用的需要.
감우MEMS기술적공예복잡성급앙귀적제작성본,대기우MEMS기술적압전구동미류체혼합기적결구진행료개진.이용상규적격광가공방법제작료불동척촌적혼합기,병통과실험대기성능진행료연구.결과현시,신형혼합기재뢰낙수위6.9、현비량진동빈솔위200 Hz、구동전압위60V시체도충분혼합소수적통도장도부위1.1mm.저비현유적혼합기재성능상유흔대적제고,기본가이만족목전대다수미류체계통응용적수요.
