CAJ | 학술논문

在深亚微米和超深亚微米集成电路中,互连线失效是影响集成电路可靠性的主要因素之一.由于在集成电路制造过程中存在着缺陷,缺陷的出现导致了集成电路可靠性的下降,尤其是出现在互连线上的丢失物缺陷加剧了互连线的电迁移效应,因此电迁移失效依然是其主要的失效模式.文中讨论了电路的互连线的寿命模型,分析了丢失物缺陷以及刻蚀工艺的扰动对互连线宽度的影响,提出了新的互连线寿命估计模型.该模型还考虑了线宽、线长和缺陷峰值粒径等因素对导线寿命的影响.利用该模型可以估算出受丢失物缺陷以及刻蚀工艺扰动影响的互连线的寿命变化情况,这对IC电路设计有一定的指导作用.文中还利用模拟实验证明了该模型的有效性.
재심아미미화초심아미미집성전로중,호련선실효시영향집성전로가고성적주요인소지일.유우재집성전로제조과정중존재착결함,결함적출현도치료집성전로가고성적하강,우기시출현재호련선상적주실물결함가극료호련선적전천이효응,인차전천이실효의연시기주요적실효모식.문중토론료전로적호련선적수명모형,분석료주실물결함이급각식공예적우동대호련선관도적영향,제출료신적호련선수명고계모형.해모형환고필료선관、선장화결함봉치립경등인소대도선수명적영향.이용해모형가이고산출수주실물결함이급각식공예우동영향적호련선적수명변화정황,저대IC전로설계유일정적지도작용.문중환이용모의실험증명료해모형적유효성.