功能材料与器件学报
功能材料與器件學報
공능재료여기건학보
JOURNAL OF FUNCTIONAL MATERIALS AND DEVICES
2006年
2期
95-98
,共4页
常春荣%李子全%徐芸芸%周衡志%骆心怡
常春榮%李子全%徐蕓蕓%週衡誌%駱心怡
상춘영%리자전%서예예%주형지%락심이
ZnO薄膜%退火%形貌%内应力
ZnO薄膜%退火%形貌%內應力
ZnO박막%퇴화%형모%내응력
用超高真空射频磁控溅射技术制备了高C轴取向的ZnO薄膜,用扫描电镜和X射线衍射仪分别研究了退火对ZnO薄膜形貌和内应力的影响.结果表明:适当温度退火后薄膜的形貌和内应力得到改善,通过增氧、缺陷原子的热激活和晶粒融合等可以有效地降低薄膜中由热效应、缺陷效应和粒子注入效应等引起的张应力,薄膜组织致密化并且柱状晶粒取向趋于一致.450℃退火的ZnO薄膜具有最低的张应力和最佳的结晶质量.
用超高真空射頻磁控濺射技術製備瞭高C軸取嚮的ZnO薄膜,用掃描電鏡和X射線衍射儀分彆研究瞭退火對ZnO薄膜形貌和內應力的影響.結果錶明:適噹溫度退火後薄膜的形貌和內應力得到改善,通過增氧、缺陷原子的熱激活和晶粒融閤等可以有效地降低薄膜中由熱效應、缺陷效應和粒子註入效應等引起的張應力,薄膜組織緻密化併且柱狀晶粒取嚮趨于一緻.450℃退火的ZnO薄膜具有最低的張應力和最佳的結晶質量.
용초고진공사빈자공천사기술제비료고C축취향적ZnO박막,용소묘전경화X사선연사의분별연구료퇴화대ZnO박막형모화내응력적영향.결과표명:괄당온도퇴화후박막적형모화내응력득도개선,통과증양、결함원자적열격활화정립융합등가이유효지강저박막중유열효응、결함효응화입자주입효응등인기적장응력,박막조직치밀화병차주상정립취향추우일치.450℃퇴화적ZnO박막구유최저적장응력화최가적결정질량.
