真空科学与技术学报
真空科學與技術學報
진공과학여기술학보
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE AND TECHNOLOGY
2005年
z1期
101-104
,共4页
杨晓杰%许小亮%谢家纯%徐传明%徐军%刘洪图
楊曉傑%許小亮%謝傢純%徐傳明%徐軍%劉洪圖
양효걸%허소량%사가순%서전명%서군%류홍도
ZnO薄膜%同质%p-n结%p型
ZnO薄膜%同質%p-n結%p型
ZnO박막%동질%p-n결%p형
调节反应气体中O2的比例和RF电源的功率可以增加本征施主V0的形成焓,降低本征受主VZn和Oi的形成焓,制备出p型ZnO薄膜;采用掺杂金属Al制备出低电阻n型ZnO薄膜,在此基础上得到性能可观的ZnO同质p-n结.
調節反應氣體中O2的比例和RF電源的功率可以增加本徵施主V0的形成焓,降低本徵受主VZn和Oi的形成焓,製備齣p型ZnO薄膜;採用摻雜金屬Al製備齣低電阻n型ZnO薄膜,在此基礎上得到性能可觀的ZnO同質p-n結.
조절반응기체중O2적비례화RF전원적공솔가이증가본정시주V0적형성함,강저본정수주VZn화Oi적형성함,제비출p형ZnO박막;채용참잡금속Al제비출저전조n형ZnO박막,재차기출상득도성능가관적ZnO동질p-n결.
