红外与激光工程
紅外與激光工程
홍외여격광공정
INFRARED AND LASER ENGINEERING
2006年
1期
82-85
,共4页
表面散射%软X射线%掠入射%表面特征
錶麵散射%軟X射線%掠入射%錶麵特徵
표면산사%연X사선%략입사%표면특정
光学表面评价和检测对光学研究,尤其是短波段光学研究具有重要的意义.介绍了短波段掠入射表面散射线性模型,并根据这个理论,建立了软X射线掠入射表面逆散射模型.利用这个数学模型对由软X射线反射率计测得的数据进行计算,得到通过散射测量所获得的样品表面特征值,所测结果与WYKO测量结果吻合.测量结果表明:掠入射软X射线光学散射法能够较为精确地计算出光滑表面粗糙度和表面自相关函数,可以很直观地反应出光学表面形貌特征.
光學錶麵評價和檢測對光學研究,尤其是短波段光學研究具有重要的意義.介紹瞭短波段掠入射錶麵散射線性模型,併根據這箇理論,建立瞭軟X射線掠入射錶麵逆散射模型.利用這箇數學模型對由軟X射線反射率計測得的數據進行計算,得到通過散射測量所穫得的樣品錶麵特徵值,所測結果與WYKO測量結果吻閤.測量結果錶明:掠入射軟X射線光學散射法能夠較為精確地計算齣光滑錶麵粗糙度和錶麵自相關函數,可以很直觀地反應齣光學錶麵形貌特徵.
광학표면평개화검측대광학연구,우기시단파단광학연구구유중요적의의.개소료단파단략입사표면산사선성모형,병근거저개이론,건립료연X사선략입사표면역산사모형.이용저개수학모형대유연X사선반사솔계측득적수거진행계산,득도통과산사측량소획득적양품표면특정치,소측결과여WYKO측량결과문합.측량결과표명:략입사연X사선광학산사법능구교위정학지계산출광활표면조조도화표면자상관함수,가이흔직관지반응출광학표면형모특정.
