功能材料
功能材料
공능재료
JOURNAL OF FUNCTIONAL MATERIALS
2004年
z1期
3216-3220
,共5页
董磊%方明%易葵%范瑞瑛%邵建达%范正修
董磊%方明%易葵%範瑞瑛%邵建達%範正脩
동뢰%방명%역규%범서영%소건체%범정수
薄膜%均匀性%修正挡板
薄膜%均勻性%脩正擋闆
박막%균균성%수정당판
对于大口径镀膜机的均匀性特性进行了研究,得到了一组厚度分布曲线,并对曲线进行了分析;利用这些实验结果,运用新理论设计出了具有实用性的修正挡板,均匀性可稳定的达到3‰.
對于大口徑鍍膜機的均勻性特性進行瞭研究,得到瞭一組厚度分佈麯線,併對麯線進行瞭分析;利用這些實驗結果,運用新理論設計齣瞭具有實用性的脩正擋闆,均勻性可穩定的達到3‰.
대우대구경도막궤적균균성특성진행료연구,득도료일조후도분포곡선,병대곡선진행료분석;이용저사실험결과,운용신이론설계출료구유실용성적수정당판,균균성가은정적체도3‰.
