功能材料
功能材料
공능재료
JOURNAL OF FUNCTIONAL MATERIALS
2004年
z1期
1938-1940
,共3页
蔡宏琨%郝延明%张德贤%林列
蔡宏琨%郝延明%張德賢%林列
채굉곤%학연명%장덕현%림렬
太阳电池%微晶硅%电导率%光学带隙
太暘電池%微晶硅%電導率%光學帶隙
태양전지%미정규%전도솔%광학대극
对等离子体增强化学气相沉积技术(PECVD)制备的微晶硅(μc-Si)薄膜的电导率、光学带隙和晶化率随温度和功率的变化规律进行了研究.从拉曼谱中可以明显看出,随着功率的增大,N型材料的非晶肩逐渐减小,材料的晶化率增大.随着温度的升高,P型材料的暗电导率和激活能都是先升高后降低.
對等離子體增彊化學氣相沉積技術(PECVD)製備的微晶硅(μc-Si)薄膜的電導率、光學帶隙和晶化率隨溫度和功率的變化規律進行瞭研究.從拉曼譜中可以明顯看齣,隨著功率的增大,N型材料的非晶肩逐漸減小,材料的晶化率增大.隨著溫度的升高,P型材料的暗電導率和激活能都是先升高後降低.
대등리자체증강화학기상침적기술(PECVD)제비적미정규(μc-Si)박막적전도솔、광학대극화정화솔수온도화공솔적변화규률진행료연구.종랍만보중가이명현간출,수착공솔적증대,N형재료적비정견축점감소,재료적정화솔증대.수착온도적승고,P형재료적암전도솔화격활능도시선승고후강저.
