用作Si基微型传声器中驻极体层的电荷寿命及其表面电导
용작Si기미형전성기중주겁체층적전하수명급기표면전도
Charge stability and surface conductance of electret layer applied in Si-based miniature sonic transducer
  • 万方数据
    功能材料 공능재료
    JOURNAL OF FUNCTIONAL MATERIALS
    2004年 z1期 1494-1496 ,共3页

    吴贤勇%付晓明%夏钟福%安振连%张鹏锋%王丽%李军

    오현용%부효명%하종복%안진련%장붕봉%왕려%리군

    微型化%氮氧化硅驻极体%表面电导%电荷稳定性 微型化%氮氧化硅駐極體%錶麵電導%電荷穩定性
    미형화%담양화규주겁체%표면전도%전하은정성
    通过对化学表面修正前后的氮氧化硅复合膜的表面电导率的测量和电荷横向扩散效应的考察,讨论了化学表面修正工艺对样品中电荷横向扩散的抑止作用.借助与未经平面工艺处理的氮氧化硅复合膜大片的对比,研究了这类驻极体功能膜的微型化对其电荷寿命的影响.
    통과대화학표면수정전후적담양화규복합막적표면전도솔적측량화전하횡향확산효응적고찰,토론료화학표면수정공예대양품중전하횡향확산적억지작용.차조여미경평면공예처리적담양화규복합막대편적대비,연구료저류주겁체공능막적미형화대기전하수명적영향.
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