钛膜表面氧气氧化层研究
태막표면양기양화층연구
The Study on Oxide Layer on the Surface of Titanium Film in the Oxygen
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    MATERIALS REVIEW
    2004年 5期 92-94 ,共3页

    刘文科%曹小华%彭述明%龙兴贵%李宏发%杨茂年%张晓红%颜登云%王维笃%杨本福

    류문과%조소화%팽술명%룡흥귀%리굉발%양무년%장효홍%안등운%왕유독%양본복

    钛膜%表面%氧化层%连续 鈦膜%錶麵%氧化層%連續
    태막%표면%양화층%련속
    研究了钼基钛膜表面氧气氧化工艺;用XRD分析了氧气氢化层的物相,其物相随氧化条件而异,含有Ti、TiO2、TiO、Ti2O、Ti3O和Ti6O等多种物相;用XPS研究了氧气氧化层钛的主要价态,其主要价态为+4、+3和+2价;用AES深度剖析研究了氧气氧化层的厚度,并研究了温度、氧气压力和时间对氧气氧化层厚度影响的规律;所有氧气氧化层均不与腐蚀介质发生作用,证明了该氧化层致密连续.
    연구료목기태막표면양기양화공예;용XRD분석료양기경화층적물상,기물상수양화조건이이,함유Ti、TiO2、TiO、Ti2O、Ti3O화Ti6O등다충물상;용XPS연구료양기양화층태적주요개태,기주요개태위+4、+3화+2개;용AES심도부석연구료양기양화층적후도,병연구료온도、양기압력화시간대양기양화층후도영향적규률;소유양기양화층균불여부식개질발생작용,증명료해양화층치밀련속.
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