半导体技术
半導體技術
반도체기술
SEMICONDUCTOR TECHNOLOGY
2003年
10期
24-26
,共3页
有限状态机%光刻版%电子设计自动化%集成电路
有限狀態機%光刻版%電子設計自動化%集成電路
유한상태궤%광각판%전자설계자동화%집성전로
采用有限状态机模型设计了集成电路光刻版上各个图形布局的自动系统.将布局的各个阶段定义为不同的状态,布局规则定义为触发条件,组成一个有限状态机.基于此模型的计算机自动布局系统能自动完成图形在光刻版上的布局,充分利用硅圆片面积并给出布局报告.
採用有限狀態機模型設計瞭集成電路光刻版上各箇圖形佈跼的自動繫統.將佈跼的各箇階段定義為不同的狀態,佈跼規則定義為觸髮條件,組成一箇有限狀態機.基于此模型的計算機自動佈跼繫統能自動完成圖形在光刻版上的佈跼,充分利用硅圓片麵積併給齣佈跼報告.
채용유한상태궤모형설계료집성전로광각판상각개도형포국적자동계통.장포국적각개계단정의위불동적상태,포국규칙정의위촉발조건,조성일개유한상태궤.기우차모형적계산궤자동포국계통능자동완성도형재광각판상적포국,충분이용규원편면적병급출포국보고.
