机械强度
機械彊度
궤계강도
JOURNAL OF MECHANICAL STRENGTH
2001年
4期
531-534
,共4页
刘东栋%胡海波%唐衍哲%丁纯%王跃林
劉東棟%鬍海波%唐衍哲%丁純%王躍林
류동동%호해파%당연철%정순%왕약림
耦合%封装%各向异性腐%蚀硅
耦閤%封裝%各嚮異性腐%蝕硅
우합%봉장%각향이성부%식규
光纤和光波导的耦合封装问题是实现集成光学器件实用化的关键技术.本文在分析了光纤和光波导端面耦合损耗产生原因的基础上,选择光纤定位槽作为封装载体,并且比较了不同晶向硅各向异性腐蚀出的定位槽作为封装载体的优劣.
光纖和光波導的耦閤封裝問題是實現集成光學器件實用化的關鍵技術.本文在分析瞭光纖和光波導耑麵耦閤損耗產生原因的基礎上,選擇光纖定位槽作為封裝載體,併且比較瞭不同晶嚮硅各嚮異性腐蝕齣的定位槽作為封裝載體的優劣.
광섬화광파도적우합봉장문제시실현집성광학기건실용화적관건기술.본문재분석료광섬화광파도단면우합손모산생원인적기출상,선택광섬정위조작위봉장재체,병차비교료불동정향규각향이성부식출적정위조작위봉장재체적우렬.
