广东有色金属学报
廣東有色金屬學報
엄동유색금속학보
2001年
2期
134-137
,共4页
付志强%顾子平%袁镇海%邓其森%林松盛%郑健红%戴达煌
付誌彊%顧子平%袁鎮海%鄧其森%林鬆盛%鄭健紅%戴達煌
부지강%고자평%원진해%산기삼%림송성%정건홍%대체황
电弧沉积%氨%CNx膜
電弧沉積%氨%CNx膜
전호침적%안%CNx막
以氨气为反应气体,用真空阴极电弧沉积法制备了CNx膜,研究了工艺参数对膜层的沉积速率、化学成分的影响及膜层结合状态.结果表明:沉积速率随着氨气分压的提高而下降,当氨气分压达到6.7 Pa时将没有膜的沉积;CNx膜主要由碳和氮组成,降低真空系统的抽速、将反应气体导至靶面附近、提高氨气分压可以提高膜层中氮含量;氮是以化合态存在于膜层中.
以氨氣為反應氣體,用真空陰極電弧沉積法製備瞭CNx膜,研究瞭工藝參數對膜層的沉積速率、化學成分的影響及膜層結閤狀態.結果錶明:沉積速率隨著氨氣分壓的提高而下降,噹氨氣分壓達到6.7 Pa時將沒有膜的沉積;CNx膜主要由碳和氮組成,降低真空繫統的抽速、將反應氣體導至靶麵附近、提高氨氣分壓可以提高膜層中氮含量;氮是以化閤態存在于膜層中.
이안기위반응기체,용진공음겁전호침적법제비료CNx막,연구료공예삼수대막층적침적속솔、화학성분적영향급막층결합상태.결과표명:침적속솔수착안기분압적제고이하강,당안기분압체도6.7 Pa시장몰유막적침적;CNx막주요유탄화담조성,강저진공계통적추속、장반응기체도지파면부근、제고안기분압가이제고막층중담함량;담시이화합태존재우막층중.
