物理学报
物理學報
물이학보
2000年
11期
2186-2190
,共5页
廖梅勇%张键辉%秦复光%刘志凯%杨少延%王占国%李述汤
廖梅勇%張鍵輝%秦複光%劉誌凱%楊少延%王佔國%李述湯
료매용%장건휘%진복광%류지개%양소연%왕점국%리술탕
非晶碳%离子轰击%质量分离低能离子束
非晶碳%離子轟擊%質量分離低能離子束
비정탄%리자굉격%질량분리저능리자속
用质量分离的低能离子束沉积技术得到了非晶碳薄膜,X射线衍射、Raman谱以及俄歇深度谱的线形表明,此种非晶碳膜中镶嵌着金刚石颗粒.碳离子的浅注入是该碳膜SP3形成的主要机理.从一个侧面说明了化学气相沉积法中偏压预处理增加金刚石成核的主要原因是因为离子轰击效应.
用質量分離的低能離子束沉積技術得到瞭非晶碳薄膜,X射線衍射、Raman譜以及俄歇深度譜的線形錶明,此種非晶碳膜中鑲嵌著金剛石顆粒.碳離子的淺註入是該碳膜SP3形成的主要機理.從一箇側麵說明瞭化學氣相沉積法中偏壓預處理增加金剛石成覈的主要原因是因為離子轟擊效應.
용질량분리적저능리자속침적기술득도료비정탄박막,X사선연사、Raman보이급아헐심도보적선형표명,차충비정탄막중양감착금강석과립.탄리자적천주입시해탄막SP3형성적주요궤리.종일개측면설명료화학기상침적법중편압예처리증가금강석성핵적주요원인시인위리자굉격효응.
