兵器材料科学与工程
兵器材料科學與工程
병기재료과학여공정
Ordnance Material Science and Engineering
1999年
2期
20-24
,共5页
邱万奇%刘正义%陈剑惠%周克崧%代明江%王德政
邱萬奇%劉正義%陳劍惠%週剋崧%代明江%王德政
구만기%류정의%진검혜%주극숭%대명강%왕덕정
热丝%金刚石%微晶%扩散
熱絲%金剛石%微晶%擴散
열사%금강석%미정%확산
在纯氢气气氛中对用HFCVD法制备的无晶面的微晶金刚石薄膜进行了扩散热处理,结果表明,微晶金刚石在扩散热处理过程中将选择性长大,形成(100)面金刚石,对低压合成金刚石过程中形成(100)面金刚石和扩散热处理中形成的(100)面金刚石的机理作了讨论.
在純氫氣氣氛中對用HFCVD法製備的無晶麵的微晶金剛石薄膜進行瞭擴散熱處理,結果錶明,微晶金剛石在擴散熱處理過程中將選擇性長大,形成(100)麵金剛石,對低壓閤成金剛石過程中形成(100)麵金剛石和擴散熱處理中形成的(100)麵金剛石的機理作瞭討論.
재순경기기분중대용HFCVD법제비적무정면적미정금강석박막진행료확산열처리,결과표명,미정금강석재확산열처리과정중장선택성장대,형성(100)면금강석,대저압합성금강석과정중형성(100)면금강석화확산열처리중형성적(100)면금강석적궤리작료토론.
