集美大学学报(自然科学版)
集美大學學報(自然科學版)
집미대학학보(자연과학판)
JOURNAL OF JIMEI UNIVERSITY (NATURAL SCIENCE)
2003年
1期
80-82
,共3页
干涉%缺陷%计算机模拟
榦涉%缺陷%計算機模擬
간섭%결함%계산궤모의
光学干涉方法测量器件表面微小缺陷是一种有效的实验方法.对于多样性结果的唯一性分析,借助于计算机模拟,得到特征缺陷的干涉图样的模拟结果.该结果适用于不同波长,缺陷尺度连续变化的微小情况.使用误差跟踪计算办法,可分辨的缺陷尺度变化从1/2波长的10-1量级倍数到102量级倍数.
光學榦涉方法測量器件錶麵微小缺陷是一種有效的實驗方法.對于多樣性結果的唯一性分析,藉助于計算機模擬,得到特徵缺陷的榦涉圖樣的模擬結果.該結果適用于不同波長,缺陷呎度連續變化的微小情況.使用誤差跟蹤計算辦法,可分辨的缺陷呎度變化從1/2波長的10-1量級倍數到102量級倍數.
광학간섭방법측량기건표면미소결함시일충유효적실험방법.대우다양성결과적유일성분석,차조우계산궤모의,득도특정결함적간섭도양적모의결과.해결과괄용우불동파장,결함척도련속변화적미소정황.사용오차근종계산판법,가분변적결함척도변화종1/2파장적10-1량급배수도102량급배수.
