物理实验
物理實驗
물리실험
PHYSICS EXPERIMENTATION
2002年
8期
17-20
,共4页
纳米硅%拉曼散射%快速热退火%X射线衍射
納米硅%拉曼散射%快速熱退火%X射線衍射
납미규%랍만산사%쾌속열퇴화%X사선연사
报道了一种从非晶硅薄膜中生长纳米硅晶粒的方法.含氢非晶硅薄膜经过快速热退火处理后,用拉曼散射和X射线衍射技术对样品进行分析.实验结果表明:纳米硅晶粒不但能在非晶硅薄膜中形成,而且所形成的纳米硅晶粒的大小随着热退火过程中升温快慢而变化.在升温过程中,若单位时间内温度变化量较大(～100℃/s),则所形成纳米硅粒较小(1.6～15nm);若单位时间内温度变化量较低(～1℃/s),则纳米硅粒较大(23～46nm).根据晶体生长理论和计算机模拟,讨论了升温快慢与所形成的纳米硅颗粒大小的关系.
報道瞭一種從非晶硅薄膜中生長納米硅晶粒的方法.含氫非晶硅薄膜經過快速熱退火處理後,用拉曼散射和X射線衍射技術對樣品進行分析.實驗結果錶明:納米硅晶粒不但能在非晶硅薄膜中形成,而且所形成的納米硅晶粒的大小隨著熱退火過程中升溫快慢而變化.在升溫過程中,若單位時間內溫度變化量較大(～100℃/s),則所形成納米硅粒較小(1.6～15nm);若單位時間內溫度變化量較低(～1℃/s),則納米硅粒較大(23～46nm).根據晶體生長理論和計算機模擬,討論瞭升溫快慢與所形成的納米硅顆粒大小的關繫.
보도료일충종비정규박막중생장납미규정립적방법.함경비정규박막경과쾌속열퇴화처리후,용랍만산사화X사선연사기술대양품진행분석.실험결과표명:납미규정립불단능재비정규박막중형성,이차소형성적납미규정립적대소수착열퇴화과정중승온쾌만이변화.재승온과정중,약단위시간내온도변화량교대(～100℃/s),칙소형성납미규립교소(1.6～15nm);약단위시간내온도변화량교저(～1℃/s),칙납미규립교대(23～46nm).근거정체생장이론화계산궤모의,토론료승온쾌만여소형성적납미규과립대소적관계.
