透光导电ITO膜的制备及其光电特性的研究
투광도전ITO막적제비급기광전특성적연구
OPTICAL AND ELECTRICAL PROPERTIES OF TRANSPARENT CONDUCTIVE ITO FILMS PREPARED BY SOL-GEL PROCESS
  • 万方数据
    光子学报 광자학보
    ACTA PHOTONICA SINICA
    2002年 9期 1077-1080 ,共4页

    周引穗%王俊%杨晓东%董庆彦%高爱华%胡晓云%陆治国

    주인수%왕준%양효동%동경언%고애화%호효운%륙치국

    ITO膜%溶胶-凝胶%光电特性 ITO膜%溶膠-凝膠%光電特性
    ITO막%용효-응효%광전특성
    采用溶胶-凝胶方法制备ITO膜,并从制备工艺上研究了各种因素对ITO膜光电特性的影响.最后制出的ITO膜厚度约为50nm,在可见光区平均透射比达97%,最高达99.55%,电阻率在2.0Ω·cm左右,最低达到0.31Ω·cm.
    채용용효-응효방법제비ITO막,병종제비공예상연구료각충인소대ITO막광전특성적영향.최후제출적ITO막후도약위50nm,재가견광구평균투사비체97%,최고체99.55%,전조솔재2.0Ω·cm좌우,최저체도0.31Ω·cm.
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