北京大学学报(自然科学版)
北京大學學報(自然科學版)
북경대학학보(자연과학판)
ACTA SCIENTIARUM NATURALIUM UNIVERSITATIS PEKINENSIS
2002年
5期
713-718
,共6页
实验设计%响应表面%优化设计%TCAD工具
實驗設計%響應錶麵%優化設計%TCAD工具
실험설계%향응표면%우화설계%TCAD공구
鉴于PC机广泛普及和使用方便,在PC机上建立起实验设计与模拟相结合用于IC优化设计的TCAD工具.利用已有的工艺模拟软件SUPREM、器件模拟软件MINIMOS及电路模拟软件PSPICE,完成了响应表面拟合、SPICE模型参数提取及数据转换等程序,形成一个可以进行工艺、器件及电路分析和优化设计的TCAD工具,并用于研究实验设计方法在IC优化设计中的应用.
鑒于PC機廣汎普及和使用方便,在PC機上建立起實驗設計與模擬相結閤用于IC優化設計的TCAD工具.利用已有的工藝模擬軟件SUPREM、器件模擬軟件MINIMOS及電路模擬軟件PSPICE,完成瞭響應錶麵擬閤、SPICE模型參數提取及數據轉換等程序,形成一箇可以進行工藝、器件及電路分析和優化設計的TCAD工具,併用于研究實驗設計方法在IC優化設計中的應用.
감우PC궤엄범보급화사용방편,재PC궤상건립기실험설계여모의상결합용우IC우화설계적TCAD공구.이용이유적공예모의연건SUPREM、기건모의연건MINIMOS급전로모의연건PSPICE,완성료향응표면의합、SPICE모형삼수제취급수거전환등정서,형성일개가이진행공예、기건급전로분석화우화설계적TCAD공구,병용우연구실험설계방법재IC우화설계중적응용.
