太阳能学报
太暘能學報
태양능학보
ACTA ENERGIAE SOLARIS SINICA
2002年
3期
290-292
,共3页
励旭东%许颖%李维刚%姬成周%李仲明%马本堃
勵旭東%許穎%李維剛%姬成週%李仲明%馬本堃
려욱동%허영%리유강%희성주%리중명%마본곤
快速热化学气相沉积%颗粒硅带%多晶硅薄膜%太阳电池
快速熱化學氣相沉積%顆粒硅帶%多晶硅薄膜%太暘電池
쾌속열화학기상침적%과립규대%다정규박막%태양전지
采用廉价国产硅粉拉制的低纯度颗粒硅带(SSP)作为衬底,利用快速热化学气相沉积(RTCVD)方法外延多晶硅薄膜并制作了转换效率达4.5%的薄膜太阳电池.对衬底和薄膜特性、相关工艺及进一步的研究方向做了探讨.
採用廉價國產硅粉拉製的低純度顆粒硅帶(SSP)作為襯底,利用快速熱化學氣相沉積(RTCVD)方法外延多晶硅薄膜併製作瞭轉換效率達4.5%的薄膜太暘電池.對襯底和薄膜特性、相關工藝及進一步的研究方嚮做瞭探討.
채용렴개국산규분랍제적저순도과립규대(SSP)작위츤저,이용쾌속열화학기상침적(RTCVD)방법외연다정규박막병제작료전환효솔체4.5%적박막태양전지.대츤저화박막특성、상관공예급진일보적연구방향주료탐토.
