CAJ | 학술논문

万方数据

红外与毫米波学报 홍외여호미파학보
JOURNAL OF INFRARED AND MILLIMETER WAVES
2002年 1期 67-70 ,共4页

陈路%巫艳%于梅芳%吴俊%乔怡敏%杨建荣%何力

진로%무염%우매방%오준%교이민%양건영%하력

分子束外延%HgCdTe%均匀性%缺陷%焦平面分子束外延%HgCdTe%均勻性%缺陷%焦平麵
분자속외연%HgCdTe%균균성%결함%초평면

报道了用分子束外延的方法制备3英寸HgCdTe薄膜的研究结果,获得的HgCdTe外延材料均匀性良好,在直径70mm圆内,组份标准偏差率为1.2%,对应80K截止波长偏差仅为0.1μm.经过生长条件的改进,表面形貌获得了大幅度改善,缺陷密刃∮00cm-2,缺陷尺寸小于10μm,可以满足大规模HgCdTe焦平面列阵的应用需求.抖
보도료용분자속외연적방법제비3영촌HgCdTe박막적연구결과,획득적HgCdTe외연재료균균성량호,재직경70mm원내,조빈표준편차솔위1.2%,대응80K절지파장편차부위0.1μm.경과생장조건적개진,표면형모획득료대폭도개선,결함밀인∮00cm-2,결함척촌소우10μm,가이만족대규모HgCdTe초평면렬진적응용수구.두