机械工程材料
機械工程材料
궤계공정재료
MATERIALS FOR MECHANICAL ENGINEERING
2001年
9期
10-12
,共3页
刘仲阳%王培录%廖小东%郑思孝%孙官清
劉仲暘%王培錄%廖小東%鄭思孝%孫官清
류중양%왕배록%료소동%정사효%손관청
离子束辅助沉积%MoS2-Ag复合膜%MoS2-Ta复合膜%氧化
離子束輔助沉積%MoS2-Ag複閤膜%MoS2-Ta複閤膜%氧化
리자속보조침적%MoS2-Ag복합막%MoS2-Ta복합막%양화
用离子束辅助沉积方法(IBAD)制备MoS2-Ag和MoS2-Ta复合膜以及MoS2膜.用XPS分别检测在相对湿度100%室温环境下存放45天和室温去离子水浸泡158h以及在430℃加热1h后的三种膜中Mo、S元素的电子结构.数据表明:掺有Ag、Ta元素的MoS2复合膜抗氧化特性远优于同种工艺条件下制备的纯MoS2膜.
用離子束輔助沉積方法(IBAD)製備MoS2-Ag和MoS2-Ta複閤膜以及MoS2膜.用XPS分彆檢測在相對濕度100%室溫環境下存放45天和室溫去離子水浸泡158h以及在430℃加熱1h後的三種膜中Mo、S元素的電子結構.數據錶明:摻有Ag、Ta元素的MoS2複閤膜抗氧化特性遠優于同種工藝條件下製備的純MoS2膜.
용리자속보조침적방법(IBAD)제비MoS2-Ag화MoS2-Ta복합막이급MoS2막.용XPS분별검측재상대습도100%실온배경하존방45천화실온거리자수침포158h이급재430℃가열1h후적삼충막중Mo、S원소적전자결구.수거표명:참유Ag、Ta원소적MoS2복합막항양화특성원우우동충공예조건하제비적순MoS2막.
