华南理工大学学报(自然科学版)
華南理工大學學報(自然科學版)
화남리공대학학보(자연과학판)
JOURNAL OF SOUTH CHINA UNIVERSITY OF TECHNOLOLGY
2004年
8期
18-21
,共4页
罗宏伟%恩云飞%杨银堂%朱樟明%解斌%王金延
囉宏偉%恩雲飛%楊銀堂%硃樟明%解斌%王金延
라굉위%은운비%양은당%주장명%해빈%왕금연
FLOTOX E2PROM%阈值电压%陷阱电荷%可靠性
FLOTOX E2PROM%閾值電壓%陷阱電荷%可靠性
FLOTOX E2PROM%역치전압%함정전하%가고성
基于FLOTOX E2PROM结构,分析了影响FLOTOX E2PROM可靠性的主要因素,包括可编程窗口退化、电荷保持特性退化及与时间有关的隧道氧化层击穿(TDDB)等,发现FLOTOX的可靠性与隧穿氧化层的质量密切相关.实验表明,擦/写电压应力周期、脉冲电压应力大小及脉冲宽度的变化都会影响FLOTOX E2PROM阈值电压的变化,分析认为隧穿氧化层中产生的缺陷(陷阱电荷)是引起FLOTOX E2PROM阈值电压退化的主要原因,隧道氧化层中的陷阱电荷通过影响注入电场使阈值电压增加或减少.
基于FLOTOX E2PROM結構,分析瞭影響FLOTOX E2PROM可靠性的主要因素,包括可編程窗口退化、電荷保持特性退化及與時間有關的隧道氧化層擊穿(TDDB)等,髮現FLOTOX的可靠性與隧穿氧化層的質量密切相關.實驗錶明,抆/寫電壓應力週期、脈遲電壓應力大小及脈遲寬度的變化都會影響FLOTOX E2PROM閾值電壓的變化,分析認為隧穿氧化層中產生的缺陷(陷阱電荷)是引起FLOTOX E2PROM閾值電壓退化的主要原因,隧道氧化層中的陷阱電荷通過影響註入電場使閾值電壓增加或減少.
기우FLOTOX E2PROM결구,분석료영향FLOTOX E2PROM가고성적주요인소,포괄가편정창구퇴화、전하보지특성퇴화급여시간유관적수도양화층격천(TDDB)등,발현FLOTOX적가고성여수천양화층적질량밀절상관.실험표명,찰/사전압응력주기、맥충전압응력대소급맥충관도적변화도회영향FLOTOX E2PROM역치전압적변화,분석인위수천양화층중산생적결함(함정전하)시인기FLOTOX E2PROM역치전압퇴화적주요원인,수도양화층중적함정전하통과영향주입전장사역치전압증가혹감소.
