CAJ | 학술논문

为了进一步研究13.9nm类镍银和19.6nm类氖锗X射线激光,制备了工作在上述两个波长的Mo/Si多层膜反射镜.设计了结构简单、操作方便的小型反射率计,将其安装在Mcpherson247单色仪出射狭缝附近,以铜靶激光等离子体辐射源为极紫外光源,组建了一套适合反射率测量的实验装置,利用此装置测量了实验室制备的多层膜反射镜的反射率.测量之前对单色仪进行了标定并对光源稳定性进行了测量,结果显示,波长准确度是0.08nm,光源信号抖动范围＜5%,光源稳定性好.反射率测量结果显示,实验室能够制备出中心波长分别是13.91和19.60nm的Mo/Si多层膜反射镜.相应反射率分别为41.9%和22.6%,半宽度为0.56和1.70nm.同时还用WYKO测量得到13.9和19.6nmMo/Si多层膜的表面粗糙度分别为0.52和0.55nm.
위료진일보연구13.9nm류얼은화19.6nm류내타X사선격광,제비료공작재상술량개파장적Mo/Si다층막반사경.설계료결구간단、조작방편적소형반사솔계,장기안장재Mcpherson247단색의출사협봉부근,이동파격광등리자체복사원위겁자외광원,조건료일투괄합반사솔측량적실험장치,이용차장치측량료실험실제비적다층막반사경적반사솔.측량지전대단색의진행료표정병대광원은정성진행료측량,결과현시,파장준학도시0.08nm,광원신호두동범위＜5%,광원은정성호.반사솔측량결과현시,실험실능구제비출중심파장분별시13.91화19.60nm적Mo/Si다층막반사경.상응반사솔분별위41.9%화22.6%,반관도위0.56화1.70nm.동시환용WYKO측량득도13.9화19.6nmMo/Si다층막적표면조조도분별위0.52화0.55nm.