电子工业专用设备
電子工業專用設備
전자공업전용설비
EQUIPMENT FOR ELECTRONIC PRODUCTS MANUFACTURING
2009年
7期
42-45
,共4页
杨晓生%彭志坚%肖益波%谭晓松
楊曉生%彭誌堅%肖益波%譚曉鬆
양효생%팽지견%초익파%담효송
多晶硅铸锭炉%PID%温度控制
多晶硅鑄錠爐%PID%溫度控製
다정규주정로%PID%온도공제
Polysilicon Ingot Furnace%PID%temperature control
针对多晶硅铸锭炉的温度控制,提出了一种基于微分先行算法的PID控制方法.应用结果说明,该PID控制方法能对多晶铸锭炉的温度进行有效控制.
針對多晶硅鑄錠爐的溫度控製,提齣瞭一種基于微分先行算法的PID控製方法.應用結果說明,該PID控製方法能對多晶鑄錠爐的溫度進行有效控製.
침대다정규주정로적온도공제,제출료일충기우미분선행산법적PID공제방법.응용결과설명,해PID공제방법능대다정주정로적온도진행유효공제.
This paper put forward a Differential ahead PID control for temperature control of Ploysili con Ingot Furnace. Our results indicate that the PID control is effective for temperature of Ploysilicon Ingot Furnace.
