应用激光
應用激光
응용격광
APPLIED LASER
2009年
3期
252-255
,共4页
刘荣祁%陈建荣%林宝卿%庄其仁
劉榮祁%陳建榮%林寶卿%莊其仁
류영기%진건영%림보경%장기인
浮雕矩形光栅%刻槽深度%衍射测量
浮彫矩形光柵%刻槽深度%衍射測量
부조구형광책%각조심도%연사측량
当激光束投射在浮雕光栅上,透过光栅的衍射光斑就反映了浮雕光栅的表面信息.提出一种浮雕矩形光栅刻槽深度的高精度衍射测量方法.分别采用两个激光波长垂直入射光栅表面,测量透过光栅的0级和1级衍射光强比,实现对光栅刻槽深度的间接测量.此测量方法理论精度优于1nm.给出了对石英浮雕矩形光栅的实验测量结果.该测量方法的突出特点是:所用仪器设备简单,对环境噪声不敏感,测量速度快,特别适用于在线检测.
噹激光束投射在浮彫光柵上,透過光柵的衍射光斑就反映瞭浮彫光柵的錶麵信息.提齣一種浮彫矩形光柵刻槽深度的高精度衍射測量方法.分彆採用兩箇激光波長垂直入射光柵錶麵,測量透過光柵的0級和1級衍射光彊比,實現對光柵刻槽深度的間接測量.此測量方法理論精度優于1nm.給齣瞭對石英浮彫矩形光柵的實驗測量結果.該測量方法的突齣特點是:所用儀器設備簡單,對環境譟聲不敏感,測量速度快,特彆適用于在線檢測.
당격광속투사재부조광책상,투과광책적연사광반취반영료부조광책적표면신식.제출일충부조구형광책각조심도적고정도연사측량방법.분별채용량개격광파장수직입사광책표면,측량투과광책적0급화1급연사광강비,실현대광책각조심도적간접측량.차측량방법이론정도우우1nm.급출료대석영부조구형광책적실험측량결과.해측량방법적돌출특점시:소용의기설비간단,대배경조성불민감,측량속도쾌,특별괄용우재선검측.
