红外与毫米波学报
紅外與毫米波學報
홍외여호미파학보
JOURNAL OF INFRARED AND MILLIMETER WAVES
2011年
3期
224-228
,共5页
PLD%ZnO薄膜%应力%晶体结构%光致发光谱
PLD%ZnO薄膜%應力%晶體結構%光緻髮光譜
PLD%ZnO박막%응력%정체결구%광치발광보
用脉冲激光沉积(PLD)方法在Si(111)和蓝宝石衬底上制备的氧化锌薄膜,在不同的退火温度和不同的退火氛围中进行了退火处理.退火温度及退火氛围对ZnO薄膜的结构和发光特性的影响用X射线衍射(XRD)谱和光致发光谱进行了表征.实验结果表明,随着退火温度的提高,ZnO薄膜的压应力减小,并向张应力转化.在不同的退火温度退火的薄膜的光致发光谱表明,随着退火温度的提高,薄膜的紫外发射逐渐增强,缺陷发射逐渐减小.在不同退火条件下的退火实验表明,在蓝宝石衬底上、氧气氛围中退火的薄膜,在700℃时呈现无应力,紫外发射强度对可见发射强度的比例最大.
用脈遲激光沉積(PLD)方法在Si(111)和藍寶石襯底上製備的氧化鋅薄膜,在不同的退火溫度和不同的退火氛圍中進行瞭退火處理.退火溫度及退火氛圍對ZnO薄膜的結構和髮光特性的影響用X射線衍射(XRD)譜和光緻髮光譜進行瞭錶徵.實驗結果錶明,隨著退火溫度的提高,ZnO薄膜的壓應力減小,併嚮張應力轉化.在不同的退火溫度退火的薄膜的光緻髮光譜錶明,隨著退火溫度的提高,薄膜的紫外髮射逐漸增彊,缺陷髮射逐漸減小.在不同退火條件下的退火實驗錶明,在藍寶石襯底上、氧氣氛圍中退火的薄膜,在700℃時呈現無應力,紫外髮射彊度對可見髮射彊度的比例最大.
용맥충격광침적(PLD)방법재Si(111)화람보석츤저상제비적양화자박막,재불동적퇴화온도화불동적퇴화분위중진행료퇴화처리.퇴화온도급퇴화분위대ZnO박막적결구화발광특성적영향용X사선연사(XRD)보화광치발광보진행료표정.실험결과표명,수착퇴화온도적제고,ZnO박막적압응력감소,병향장응력전화.재불동적퇴화온도퇴화적박막적광치발광보표명,수착퇴화온도적제고,박막적자외발사축점증강,결함발사축점감소.재불동퇴화조건하적퇴화실험표명,재람보석츤저상、양기분위중퇴화적박막,재700℃시정현무응력,자외발사강도대가견발사강도적비례최대.
