光子学报
光子學報
광자학보
ACTA PHOTONICA SINICA
2012年
2期
236-239
,共4页
王坤霞%冯仕猛%徐华天%单以洪%田嘉彤%黄建华%杨树泉%黄璐%周利荣
王坤霞%馮仕猛%徐華天%單以洪%田嘉彤%黃建華%楊樹泉%黃璐%週利榮
왕곤하%풍사맹%서화천%단이홍%전가동%황건화%양수천%황로%주리영
多晶硅%绒面技术%陷光效应%反射率
多晶硅%絨麵技術%陷光效應%反射率
다정규%융면기술%함광효응%반사솔
多晶硅表面制绒技术是太阳能光伏产业亟待突破的一个关键技术.本文根据多晶硅强酸制绒的基本原理,提出了表面活性剂钝化多晶硅表面以降低硅原子与酸反应速度从而改善多晶硅绒面形貌的方法.实验研究了不同含量的添加剂对酸液刻蚀多晶硅绒面形貌的影响,用扫描电镜观察对应的绒面结构,用积分反射仪测量其绒面的表面反射率.实验结果表明:加入活性剂后酸液能使多晶硅表面陷阱坑分布更加均匀,并且能有效消除产生漏电流的缺陷性深沟槽,样品表面反射率比较低,其表面反射率降低到21.5％.与传统酸液腐蚀的多晶硅绒面结构相比,陷阱坑密度明显增加,这种方法在多晶硅太阳电池的生产中是有价值的.
多晶硅錶麵製絨技術是太暘能光伏產業亟待突破的一箇關鍵技術.本文根據多晶硅彊痠製絨的基本原理,提齣瞭錶麵活性劑鈍化多晶硅錶麵以降低硅原子與痠反應速度從而改善多晶硅絨麵形貌的方法.實驗研究瞭不同含量的添加劑對痠液刻蝕多晶硅絨麵形貌的影響,用掃描電鏡觀察對應的絨麵結構,用積分反射儀測量其絨麵的錶麵反射率.實驗結果錶明:加入活性劑後痠液能使多晶硅錶麵陷阱坑分佈更加均勻,併且能有效消除產生漏電流的缺陷性深溝槽,樣品錶麵反射率比較低,其錶麵反射率降低到21.5％.與傳統痠液腐蝕的多晶硅絨麵結構相比,陷阱坑密度明顯增加,這種方法在多晶硅太暘電池的生產中是有價值的.
다정규표면제융기술시태양능광복산업극대돌파적일개관건기술.본문근거다정규강산제융적기본원리,제출료표면활성제둔화다정규표면이강저규원자여산반응속도종이개선다정규융면형모적방법.실험연구료불동함량적첨가제대산액각식다정규융면형모적영향,용소묘전경관찰대응적융면결구,용적분반사의측량기융면적표면반사솔.실험결과표명:가입활성제후산액능사다정규표면함정갱분포경가균균,병차능유효소제산생루전류적결함성심구조,양품표면반사솔비교저,기표면반사솔강저도21.5％.여전통산액부식적다정규융면결구상비,함정갱밀도명현증가,저충방법재다정규태양전지적생산중시유개치적.
