功能材料与器件学报
功能材料與器件學報
공능재료여기건학보
JOURNAL OF FUNCTIONAL MATERIALS AND DEVICES
2006年
5期
439-442,464
,共5页
李位勇%顾豪爽%张凯%胡明哲%胡光
李位勇%顧豪爽%張凱%鬍明哲%鬍光
리위용%고호상%장개%호명철%호광
体声波谐振器%Mason模型%压电薄膜%频率特性
體聲波諧振器%Mason模型%壓電薄膜%頻率特性
체성파해진기%Mason모형%압전박막%빈솔특성
采用一维Mason模型,研究了体声波谐振器的频率特性,探讨了压电薄膜AlN和上电极膜厚对谐振频率的影响,压电参数d33及压电薄膜与电极的厚度比率对机电耦合系数的影响,同时研究了谐振区域的面积和声能在衬底中的损耗对品质因数的影响.测量的体声波谐振器频率特性曲线与模拟结果吻合的较好.
採用一維Mason模型,研究瞭體聲波諧振器的頻率特性,探討瞭壓電薄膜AlN和上電極膜厚對諧振頻率的影響,壓電參數d33及壓電薄膜與電極的厚度比率對機電耦閤繫數的影響,同時研究瞭諧振區域的麵積和聲能在襯底中的損耗對品質因數的影響.測量的體聲波諧振器頻率特性麯線與模擬結果吻閤的較好.
채용일유Mason모형,연구료체성파해진기적빈솔특성,탐토료압전박막AlN화상전겁막후대해진빈솔적영향,압전삼수d33급압전박막여전겁적후도비솔대궤전우합계수적영향,동시연구료해진구역적면적화성능재츤저중적손모대품질인수적영향.측량적체성파해진기빈솔특성곡선여모의결과문합적교호.
