双材料微梁阵列室温物体红外成像
쌍재료미량진렬실온물체홍외성상
Bi-material mircocantilever array room-temperature IR imaging
  • 万方数据
    物理学报 물이학보

    2006年 7期 3208-3214 ,共7页

    缪正宇%张青川%陈大鹏%伍小平%李超波%郭哲颖%董凤良%熊志铭

    무정우%장청천%진대붕%오소평%리초파%곽철영%동봉량%웅지명

    非制冷红外成像%光学读出%双材料微梁阵列 非製冷紅外成像%光學讀齣%雙材料微樑陣列
    비제랭홍외성상%광학독출%쌍재료미량진렬
    针对近年出现的新概念光学读出双材料微梁阵列红外成像技术,提出了具有热变形放大效果的无硅基底回折腿间隔镀金的微梁单元结构,并建立了其热机械模型,在模型分析基础上,成功的设计制作了100×100像素的焦平面阵列(focal plane array,FPA).在构建的红外成像系统中,实现了对室温物体--人体的热成像,噪声等效温度差约为200mK.实验结果与热机械模型的分析一致.
    침대근년출현적신개념광학독출쌍재료미량진렬홍외성상기술,제출료구유열변형방대효과적무규기저회절퇴간격도금적미량단원결구,병건립료기열궤계모형,재모형분석기출상,성공적설계제작료100×100상소적초평면진렬(focal plane array,FPA).재구건적홍외성상계통중,실현료대실온물체--인체적열성상,조성등효온도차약위200mK.실험결과여열궤계모형적분석일치.
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