电子工业专用设备
電子工業專用設備
전자공업전용설비
EQUIPMENT FOR ELECTRONIC PRODUCTS MANUFACTURING
2006年
10期
53-56,60
,共5页
金小兵%李小平%陈飞彪%李志丹%肖可云
金小兵%李小平%陳飛彪%李誌丹%肖可雲
금소병%리소평%진비표%리지단%초가운
调焦调平%光刻机%激光干涉仪
調焦調平%光刻機%激光榦涉儀
조초조평%광각궤%격광간섭의
硅片调焦调平测量系统测试平台用于对光刻机硅片调焦调平测量系统的性能进行检测.该平台模拟硅片调焦调平测量系统在光刻机中的测量对象的运动和工作环境,由三自由度运动台吸附硅片模拟光刻机工件台的垂向运动,采用比较激光干涉仪和硅片调焦调平测量系统同时对硅片测量的结果作为其性能的评估依据.该平台测量精确可靠,可以用于精度、分辨率和重复性等性能指标的检测.
硅片調焦調平測量繫統測試平檯用于對光刻機硅片調焦調平測量繫統的性能進行檢測.該平檯模擬硅片調焦調平測量繫統在光刻機中的測量對象的運動和工作環境,由三自由度運動檯吸附硅片模擬光刻機工件檯的垂嚮運動,採用比較激光榦涉儀和硅片調焦調平測量繫統同時對硅片測量的結果作為其性能的評估依據.該平檯測量精確可靠,可以用于精度、分辨率和重複性等性能指標的檢測.
규편조초조평측량계통측시평태용우대광각궤규편조초조평측량계통적성능진행검측.해평태모의규편조초조평측량계통재광각궤중적측량대상적운동화공작배경,유삼자유도운동태흡부규편모의광각궤공건태적수향운동,채용비교격광간섭의화규편조초조평측량계통동시대규편측량적결과작위기성능적평고의거.해평태측량정학가고,가이용우정도、분변솔화중복성등성능지표적검측.
