复旦学报（自然科学版）
複旦學報（自然科學版）
복단학보（자연과학판）
JOURNAL OF FUDAN UNIVERSITY(NATURAL SCIENCE)
2007年
1期
65-69,75
,共6页
王云涛%张昕%顾小宝%吴晓京
王雲濤%張昕%顧小寶%吳曉京
왕운도%장흔%고소보%오효경
材料科学%ZnO薄膜%p型半导体%热蒸发分解
材料科學%ZnO薄膜%p型半導體%熱蒸髮分解
재료과학%ZnO박막%p형반도체%열증발분해
以Zn(CH3COO)2·2H2O为蒸发源,利用热蒸发分解法在Si衬底上沉积了多晶ZnO薄膜.使用多种分析测试手段(XRD,SEM,PL,霍尔效应)对不同的衬底温度下得到的ZnO薄膜的物理性质及结构特征进行分析表征.ZnO薄膜为六角纤锌矿结构,但在高角度时可以观察到衍射峰的分裂,表明ZnO薄膜中结构的非均一性.所得到的ZnO薄膜在蓝光波段具有强烈的受激发射.霍尔效应测量显示在衬底温度低于480 ℃时,薄膜为空穴导电(p-type),而高于480 ℃时,为电子导电(n-type).在不同衬底温度下,薄膜表面具有不同形貌特征.还探讨了对于ZnO薄膜的热蒸发分解法的成膜机理.
以Zn(CH3COO)2·2H2O為蒸髮源,利用熱蒸髮分解法在Si襯底上沉積瞭多晶ZnO薄膜.使用多種分析測試手段(XRD,SEM,PL,霍爾效應)對不同的襯底溫度下得到的ZnO薄膜的物理性質及結構特徵進行分析錶徵.ZnO薄膜為六角纖鋅礦結構,但在高角度時可以觀察到衍射峰的分裂,錶明ZnO薄膜中結構的非均一性.所得到的ZnO薄膜在藍光波段具有彊烈的受激髮射.霍爾效應測量顯示在襯底溫度低于480 ℃時,薄膜為空穴導電(p-type),而高于480 ℃時,為電子導電(n-type).在不同襯底溫度下,薄膜錶麵具有不同形貌特徵.還探討瞭對于ZnO薄膜的熱蒸髮分解法的成膜機理.
이Zn(CH3COO)2·2H2O위증발원,이용열증발분해법재Si츤저상침적료다정ZnO박막.사용다충분석측시수단(XRD,SEM,PL,곽이효응)대불동적츤저온도하득도적ZnO박막적물이성질급결구특정진행분석표정.ZnO박막위륙각섬자광결구,단재고각도시가이관찰도연사봉적분렬,표명ZnO박막중결구적비균일성.소득도적ZnO박막재람광파단구유강렬적수격발사.곽이효응측량현시재츤저온도저우480 ℃시,박막위공혈도전(p-type),이고우480 ℃시,위전자도전(n-type).재불동츤저온도하,박막표면구유불동형모특정.환탐토료대우ZnO박막적열증발분해법적성막궤리.
