微纳电子技术
微納電子技術
미납전자기술
MICRONANOELECTRONIC TECHNOLOGY
2008年
4期
214-218,234
,共6页
欧阳炜霞%张永华%王超%郭兴龙%赖宗声
歐暘煒霞%張永華%王超%郭興龍%賴宗聲
구양위하%장영화%왕초%곽흥룡%뢰종성
MEMS技术%硅体微加工%LIGA技术%微波滤波器%可调滤波器
MEMS技術%硅體微加工%LIGA技術%微波濾波器%可調濾波器
MEMS기술%규체미가공%LIGA기술%미파려파기%가조려파기
基于MEMS技术的滤波器是现行RF结构中一个关键的MEMS器件.与传统的采用金属矩形或圆柱波导以及半导体元件制作的滤波器相比,MEMS滤波器具有低损耗、高隔离度、线性好、体积小、易于集成等优点.对利用MEMS技术制作的滤波器做了分类总结.综述了近几年MEMS滤波器的研究进展,包括硅体微加工滤波器、LIGA传输线型滤波器和基于MEMS开关/电容实现的可调滤波器.指出可调滤波器的开发适应微波、毫米波波段的多频段、宽带无线通信系统的迫切需要,具有重要的现实意义.
基于MEMS技術的濾波器是現行RF結構中一箇關鍵的MEMS器件.與傳統的採用金屬矩形或圓柱波導以及半導體元件製作的濾波器相比,MEMS濾波器具有低損耗、高隔離度、線性好、體積小、易于集成等優點.對利用MEMS技術製作的濾波器做瞭分類總結.綜述瞭近幾年MEMS濾波器的研究進展,包括硅體微加工濾波器、LIGA傳輸線型濾波器和基于MEMS開關/電容實現的可調濾波器.指齣可調濾波器的開髮適應微波、毫米波波段的多頻段、寬帶無線通信繫統的迫切需要,具有重要的現實意義.
기우MEMS기술적려파기시현행RF결구중일개관건적MEMS기건.여전통적채용금속구형혹원주파도이급반도체원건제작적려파기상비,MEMS려파기구유저손모、고격리도、선성호、체적소、역우집성등우점.대이용MEMS기술제작적려파기주료분류총결.종술료근궤년MEMS려파기적연구진전,포괄규체미가공려파기、LIGA전수선형려파기화기우MEMS개관/전용실현적가조려파기.지출가조려파기적개발괄응미파、호미파파단적다빈단、관대무선통신계통적박절수요,구유중요적현실의의.
