传感技术学报
傳感技術學報
전감기술학보
Journal of Transduction Technology
2009年
3期
325-330
,共6页
刘恒%何晓平%苏伟%张富堂
劉恆%何曉平%囌偉%張富堂
류항%하효평%소위%장부당
微机械电子系统%微谐振器%双端固定音叉%谐振频率%参数模型
微機械電子繫統%微諧振器%雙耑固定音扠%諧振頻率%參數模型
미궤계전자계통%미해진기%쌍단고정음차%해진빈솔%삼수모형
根据双端固定音叉谐振器的动力学原理,建立了其参数模型.该模型基于MAST语言,包含几个子模型,模型有利于验证外围电路和减少计算时间.对于工作谐振模态频率的求解,解析计算和有限元仿真结果一致(相对误差小于1%).通过模态分析和结构参数敏感性分析提出合理的选择参数可以使工作模态频率远离高阶模态频率.减少音叉梁固接端的弹性系数有利于抑制低阶模态的扰动.结构参数敏感性分析表明工作频率随音叉梁长度增大而减小,随其宽度的减小而增大.结构厚度对频率不产生影响.
根據雙耑固定音扠諧振器的動力學原理,建立瞭其參數模型.該模型基于MAST語言,包含幾箇子模型,模型有利于驗證外圍電路和減少計算時間.對于工作諧振模態頻率的求解,解析計算和有限元倣真結果一緻(相對誤差小于1%).通過模態分析和結構參數敏感性分析提齣閤理的選擇參數可以使工作模態頻率遠離高階模態頻率.減少音扠樑固接耑的彈性繫數有利于抑製低階模態的擾動.結構參數敏感性分析錶明工作頻率隨音扠樑長度增大而減小,隨其寬度的減小而增大.結構厚度對頻率不產生影響.
근거쌍단고정음차해진기적동역학원리,건립료기삼수모형.해모형기우MAST어언,포함궤개자모형,모형유리우험증외위전로화감소계산시간.대우공작해진모태빈솔적구해,해석계산화유한원방진결과일치(상대오차소우1%).통과모태분석화결구삼수민감성분석제출합리적선택삼수가이사공작모태빈솔원리고계모태빈솔.감소음차량고접단적탄성계수유리우억제저계모태적우동.결구삼수민감성분석표명공작빈솔수음차량장도증대이감소,수기관도적감소이증대.결구후도대빈솔불산생영향.