理化检验-化学分册
理化檢驗-化學分冊
이화검험-화학분책
PHYSICAL TESTING AND CHEMICAL ANALYSIS PART B:CHEMICAL ANALYSIS
2008年
5期
405-408
,共4页
周建新%徐宏%QI Xue-gui%戚学贵%刘阿龙%奚运涛
週建新%徐宏%QI Xue-gui%慼學貴%劉阿龍%奚運濤
주건신%서굉%QI Xue-gui%척학귀%류아룡%해운도
化学气相沉积(CVD)%SiO2/S复合涂层%热力学
化學氣相沉積(CVD)%SiO2/S複閤塗層%熱力學
화학기상침적(CVD)%SiO2/S복합도층%열역학
以二甲基二硫化物(DMDS)和正硅酸乙酯(TEOS)为反应物在25Cr35Ni合金基体上化学气相沉积SiO2/S复合涂层.应用热力学势函数法对SiO2与S的生成反应以及反应产物之间的化学反应进行了热力学计算和分析,并对化学气相沉积源物质的配比选择进行了讨论.结果表明:常压下选取预热温度773 K、沉积温度1 023 K以及适当配比的源物质化学气相沉积SiO2/S复合涂层是可行的.
以二甲基二硫化物(DMDS)和正硅痠乙酯(TEOS)為反應物在25Cr35Ni閤金基體上化學氣相沉積SiO2/S複閤塗層.應用熱力學勢函數法對SiO2與S的生成反應以及反應產物之間的化學反應進行瞭熱力學計算和分析,併對化學氣相沉積源物質的配比選擇進行瞭討論.結果錶明:常壓下選取預熱溫度773 K、沉積溫度1 023 K以及適噹配比的源物質化學氣相沉積SiO2/S複閤塗層是可行的.
이이갑기이류화물(DMDS)화정규산을지(TEOS)위반응물재25Cr35Ni합금기체상화학기상침적SiO2/S복합도층.응용열역학세함수법대SiO2여S적생성반응이급반응산물지간적화학반응진행료열역학계산화분석,병대화학기상침적원물질적배비선택진행료토론.결과표명:상압하선취예열온도773 K、침적온도1 023 K이급괄당배비적원물질화학기상침적SiO2/S복합도층시가행적.
