真空科学与技术学报
真空科學與技術學報
진공과학여기술학보
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE AND TECHNOLOGY
2009年
z1期
81-84
,共4页
辉光放电%空心阴极%掺氮类金刚石薄膜
輝光放電%空心陰極%摻氮類金剛石薄膜
휘광방전%공심음겁%참담류금강석박막
利用空心阴极放电在玻璃基底表面沉积掺氮类金刚石(DLc)薄膜.拉曼光谱(Raman)分析表明,所制备的碳膜具有典型的类金刚石结构.扫描电镜(SEM)和原子力显微镜(AFM)分析了薄膜表面形貌和粗糙度;利用摩擦磨损仪测量膜的摩擦磨损性能.结果表明,氮的掺入使得薄膜中颗粒致密平整,改变了薄膜的表面微观形貌,进而改善了薄膜的摩擦磨损性能.
利用空心陰極放電在玻璃基底錶麵沉積摻氮類金剛石(DLc)薄膜.拉曼光譜(Raman)分析錶明,所製備的碳膜具有典型的類金剛石結構.掃描電鏡(SEM)和原子力顯微鏡(AFM)分析瞭薄膜錶麵形貌和粗糙度;利用摩抆磨損儀測量膜的摩抆磨損性能.結果錶明,氮的摻入使得薄膜中顆粒緻密平整,改變瞭薄膜的錶麵微觀形貌,進而改善瞭薄膜的摩抆磨損性能.
이용공심음겁방전재파리기저표면침적참담류금강석(DLc)박막.랍만광보(Raman)분석표명,소제비적탄막구유전형적류금강석결구.소묘전경(SEM)화원자력현미경(AFM)분석료박막표면형모화조조도;이용마찰마손의측량막적마찰마손성능.결과표명,담적참입사득박막중과립치밀평정,개변료박막적표면미관형모,진이개선료박막적마찰마손성능.
