传感器与微系统
傳感器與微繫統
전감기여미계통
TRANSDUCER AND MICROSYSTEM TECHNOLOGY
2011年
6期
1-4,7
,共5页
郑小林%鄢佳文%胡宁%杨静%杨军
鄭小林%鄢佳文%鬍寧%楊靜%楊軍
정소림%언가문%호저%양정%양군
微流控芯片%材料%微加工%高分子聚合物
微流控芯片%材料%微加工%高分子聚閤物
미류공심편%재료%미가공%고분자취합물
综述了微流控芯片的制作材料及其加工方法的研究进展.在介绍了传统硅质材料,如硅、玻璃、石英等的基础上,着重描述了高分子聚合物材料在微流控芯片的应用趋势.针对不同材料,详叙了其材料特性、应用范围及加工方法.特别介绍了一些新的加工方法,如激光刻蚀法、软光刻、LIGA方法在该领域的应用.针对微流控芯片的材料与加工做了一个简要而系统的回顾,对微流控芯片和其他微型全分析系统的研究者有重要参考价值.
綜述瞭微流控芯片的製作材料及其加工方法的研究進展.在介紹瞭傳統硅質材料,如硅、玻璃、石英等的基礎上,著重描述瞭高分子聚閤物材料在微流控芯片的應用趨勢.針對不同材料,詳敘瞭其材料特性、應用範圍及加工方法.特彆介紹瞭一些新的加工方法,如激光刻蝕法、軟光刻、LIGA方法在該領域的應用.針對微流控芯片的材料與加工做瞭一箇簡要而繫統的迴顧,對微流控芯片和其他微型全分析繫統的研究者有重要參攷價值.
종술료미류공심편적제작재료급기가공방법적연구진전.재개소료전통규질재료,여규、파리、석영등적기출상,착중묘술료고분자취합물재료재미류공심편적응용추세.침대불동재료,상서료기재료특성、응용범위급가공방법.특별개소료일사신적가공방법,여격광각식법、연광각、LIGA방법재해영역적응용.침대미류공심편적재료여가공주료일개간요이계통적회고,대미류공심편화기타미형전분석계통적연구자유중요삼고개치.
